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第一百三十三章 刀具的Lifetime[2/2页]

我已经随芯所欲了 张江IT男

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bsp;辛佟的脸上立刻布满了阴云,很显然这种回答不能令他满意,等到产品出现异常了再去思考换刀具,一大堆不良品都制造出来了,黄花菜都凉了!
     “辛经理,我们会管控刀具的寿命!”谢剑风一边说,一边打开了设备的控制界面。
     “你看,刀具的寿命在这里,切割的次数在这里!当刀具的寿命超期,设备会报警提醒!”谢工指着控制界面说道。
     “谢谢!”辛佟点了点头。
     采用报警提醒功能不错,这种从源头预防的方法才是正确的管控方式!
     “切割道宽度是多少?”用肉眼看上去,切割后的晶圆依旧完整无缺,提到刀具,辛佟忍不住好奇地问道。
     “这把刀能够达到的最小切割线宽度是35微米。”谢工用手指着切割刀说道。
     35微米!难怪切割无痕啊!
     辛佟静静地盯着切割台,很快一层蓝色的薄膜引起了他的兴趣,在减薄工序他也看到过这层蓝膜,不过到了切割工序,蓝膜是固定在一个金属钢圈上。
     “非常有意思,晶圆下面的蓝膜套在了钢圈上!”辛佟说道。
     “这层tape是为了保护晶圆在切割过程中免受外部损伤,切割分离后的晶粒会粘在蓝膜上,钢圈是用来固定蓝膜的。”谢工解释道。
     “噢!”辛佟点了点头。
     他静静地看着晶圆切割,除了金庸的武侠小说,他还从来没有见过也从来没有听过有如此又快又锋利的刀!
     这真是一把惊世好刀!
     大开眼界了!
     冷静思考了一下,对于一刀切他还是充满了疑问,担心切割应力会造成晶圆崩边:“谢工,我们减薄后的晶圆厚度还有150微米,一刀切到底是否合理?”
     “辛经理,实践经验告诉我们一刀切问题不大,当然现在有切两刀的工艺,叫阶梯切割(stepcut),用两把刀片完成对晶圆的切割,切两刀这种工艺可以有效改善芯片崩边的问题。”谢工说道。
     “谢工,我们摩托罗拉项目需要采用阶梯切割,一刀切的风险太大了!”辛佟说道。
     虽然没有实践经验,前一世他是理科大神,从受力分析,他觉得两刀切对晶圆施加的应力会少很多,肯定质量更好。
     “好的,我今天就安排假片试试这个工艺!”谢工点了点头。
     “你可以先试一试,我要的是doe分析过的工艺,确保万无一失!”辛佟笑着说道。
     姜华站在一旁,看他指点四大天王之一的谢剑风,惊讶得说不出半句话来!
     这个辛佟早就不是当年那个学渣了!
    喜欢。
  

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